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MEMS磁翻柱动态测试的半自动化。

文章作者:南京赛亚特福精密仪器有限公司    发布时间:2021-07-10
MEMS磁翻柱动态测试的半自动化。
微机电系统(MEMS)在汽车、医疗、生化、航空等领域有着广泛的应用。为了降低生产成本,实现高产量和高可靠性,翻柱式液位计在晶圆级MEMS封装中的应用日益重要。
环境条件变化(例如压力、光线、温度和流体)和固有参数(例如共振频率和位移)可能对制造执行系统设备产生不同的反应。所以新传感器的动态设计就显得尤为重要。叙述了利用激光扫描多普勒振动仪对薄膜进行动态响应表征的半自动探针。
使用磁翻柱液面计检测晶片。
由于一次只能测试一台设备,所以人工进行动态测试时,需要很长时间才能进行微膜阵列的MEMS芯片测试。安装在芯片上的半自动探针台和对每个设备进行动态测试的激光多普勒振动仪,都能显著提高生产效率。
本软件是用来控制整个过程的,使晶片步进和开始测量。该系统由PolytecMSA-400微型系统分析仪硬件组成,与SUSS磁翻柱液位计的MSA-400测微仪的探针台、探针台控制器硬件及SUSSProberBench主操作系统。
*,通过对晶片对准,将晶片上的结构位置设定。利用这些信息,软件可以生成芯片图表。后需确定膜的振动特性测量参数。由6-9个测量点组成的网格,如图1所示,安装在一个薄膜阵列MEMS装置上。当这些步骤完成之后,可以通过软件在MEMS设备上启动重复测量。
根据zui的初始编程顺序,该系统从*个步骤到zui之后一步移动到芯片上的每一层。一个扫描振荡仪在2-3秒内测量每一层薄膜。并与设备ID保存。这就是说,要测量整个晶片,确保所有器件都能获得频谱和偏转形状。
Susper翻柱式液面计
半自动检测系统主要用于直接MEMS芯片测试。
磁翻柱式液位计是适合zui200mm大的基板的一种精密灵活的半自动测试解决方案。本系统特别适合于故障分析、高频测量、光机械工程和MEMS测试。
采用磁翻柱液位计,可确保可靠检测,并能*测量小到小微米范围的焊盘和小到微微米的特性尺寸。磁翻柱式液位计采用模块化设计思想,可从简单的手动显微镜台升级为高倍的全可编程显微镜。本公司提供多种附件,包括激光切割机、专用的HF测量卡盘及探针卡适配器。suproberBench操作系统控制翻式液位计。
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